| 摘要 |
<p>1. Способ измерения разности давлений с частотно-модулированным выходным сигналом, по которому используют мембрану с эпитаксиально выращенными на ней резонаторами, в которых формируется частотно-модулированный выходной сигнал, отличающийся тем, что вводят дополнительно мембрану, токонесущий напыленный проводник для возбуждения собственных колебаний резонаторов используют силу Ампера, возникающую в результате взаимодействия магнитного поля тока, текущего по проводнику, а также по резонаторам, при этом проводник и резонаторы размещают внутри вакуумированной полости между мембранами.2. Датчик разности давлений с частотно-модулированным выходным сигналом, реализующий способ по п. 1, содержащий систему возбуждения собственных колебаний резонаторов и систему формирования частотно-модулированного выходного сигнала, отличающийся тем, что корпус выполнен полым и образован двумя идентичными мембранами с эпитаксиально выращенными на них резонаторами с возможностью вакуумирования, в системе возбуждения собственных колебаний резонаторов внутри вакуумированной полости расположены токонесущий напыленный проводник, создающий магнитное поле для возбуждения собственных колебаний резонаторов, и резонаторы.</p> |
