ニオブ窒化物およびその製造方法、ニオブ窒化物含有膜およびその製造方法、並びに、半導体、半導体デバイス、光触媒、水素生成デバイスおよびエネルギーシステム

摘要

本発明は、組成式Ｎｂ３Ｎ５で表される組成を有し、構成元素Ｎｂの価数が実質的に＋５価であるニオブ窒化物である。本発明のニオブ窒化物の製造方法は、有機ニオブ化合物と窒素化合物ガスとを反応させて、前記有機ニオブ化合物を窒化する窒化工程を含む。