スパッタリング装置

摘要

スパッタリング装置は、カソードボディとカソードマグネットが同電位になるように電力を印加する電力印加装置を備えており、カソードマグネットに印加する電力は、カソードマグネットに取り付けられたマグネット回転軸とカソードボディとの間に配置されたスプラインを介して供給する。