| 摘要 |
1. Матрица ячеек cMUT ультразвукового преобразователя, которые установлены на множестве массивных пластин, которые установлены на общей подложке, содержащая:(a) ячейки cMUT, причем каждая ячейка содержит:мембрану ячейки;опорную структуру мембраны;верхний электрод, соединенный с мембраной ячейки;зазор, обеспечивающий пространство, в котором движется мембрана ячейки; инижний электрод, используемый во взаимодействии с верхним электродом;(b) множество массивных пластин, на которых установлены ячейки cMUT, причем каждая массивная пластина обладает силой инерции, которая по существу направлена противоположно силе акустического давления, генерируемой ячейкой cMUT, установленной на ней, во время передачи ячейкой cMUT, причем каждая массивная пластина и установленная на ней ячейка cMUT сбоку заизолированы движению от соседних массивных пластин с помощью зазора; и(c) непрерывную подложку, на которой установлено множество массивных пластин и их ячейки cMUT.2. Матрица ячеек cMUT по п. 1, в которой мембрана ячейки, опорная структура мембраны, верхний электрод, нижний электрод и массивные пластины изготовлены с использованием технологий производства полупроводниковых приборов.3. Матрица ячеек cMUT по п. 2, в которой массивные пластиныизготовлены из электропроводящего материала, с тем чтобы также обеспечить нижний электрод.4. Матрица ячеек cMUT по п. 3, в которой электропроводящий материал представляет собой тантал, золото, молибден, медь, хром или вольфрам или их сплав.5. Матрица ячеек cMUT по п. 1, в которой каждая массивная пластина дополнительно демонстрирует высокую жесткость, что делает ее размер малым относительно длины волны ультразвука, п |
