| 摘要 |
<p>본 발명의 실시예들은 둘 또는 셋 이상의 격리된 챔버 용적들을 포함하는 로드 록 챔버를 제공하고, 하나의 챔버 용적이 기판을 프로세싱하도록 구성되고 다른 챔버 용적은 기판에 대해서 냉각을 제공하도록 구성된다. 본 발명의 일 실시예는 챔버 본체 조립체 내에 형성된 적어도 2개의 격리된 챔버 용적들을 가지는 로드 록 챔버를 제공한다. 적어도 2개의 격리된 챔버 용적들이 수직으로 적층될 수 있을 것이다. 반응성 종들을 이용하여 내부에 배치된 기판을 프로세스하기 위해서 제 1 챔버 용적이 이용될 수 있을 것이다. 제 2 챔버 용적이 냉각형 기판 지지부를 포함할 수 있을 것이다.</p> |
