发明名称 PROCEDE DE FORMATION DE RIDES PAR FUSION D'UNE FONDATION SUR LAQUELLE REPOSE UNE COUCHE CONTRAINTE
摘要 L'invention porte sur un procédé de structuration de surface d'une structure comprenant initialement une couche élastique contrainte sur une fondation à l'état solide, caractérisé par la mise en œuvre des étapes de : - fusion d'une partie au moins de la fondation au contact de la couche élastique contrainte pour l'amener à l'état liquide pendant une durée supérieure ou égale à 50 ns, ladite partie au moins présentant une épaisseur d'au moins 20 nm, ladite fusion résultant en une relaxation de contrainte de la couche élastique qui engendre une déformation simultanée, par formation de rides, de la couche élastique (21) et de ladite partie au moins fusionnée de la fondation ; - solidification de ladite partie au moins de la fondation pour la ramener à l'état solide, ladite solidification formant une structure solide (10') présentant des rides en surface.
申请公布号 FR3012255(A1) 申请公布日期 2015.04.24
申请号 FR20130060110 申请日期 2013.10.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 BENAISSA LAMINE;MOULET JEAN-SEBASTIEN
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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