发明名称 PROCEDE DE REALISATION DE TRANSISTORS NMOS ET PMOS SUR UN SUBSTRAT DU TYPE SOI, EN PARTICULIER FDSOI, ET CIRCUIT INTEGRE CORRESPONDANT
摘要 Circuit intégré comprenant au moins un transistor du type NMOS (TRN) et au moins un transistor du type PMOS (TRP) sur respectivement des zones différentes (10, 11) d'un substrat du type silicium sur isolant, chaque transistor (TRP, TRN) comprenant au dessus du substrat une région de grille (RGP, RGN) deux régions isolantes latérales multicouches (40-42, 50-52) s'appuyant respectivement sur deux flancs de la région de grille, reposant sur le substrat et comportant chacune une portion inclinée (44, 54) s'évasant en s'éloignant du substrat, une région de source et une région de drain comportant chacune un bloc semiconducteur (6, 8) reposant sur le substrat, séparé du flanc correspondant de la région de grille par la région isolante latérale correspondante et possédant une portion inclinée (60, 80) s'appuyant sur la portion inclinée (44, 54) de ladite région latérale isolante.
申请公布号 FR3012258(A1) 申请公布日期 2015.04.24
申请号 FR20130060303 申请日期 2013.10.23
申请人 STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS 发明人 BARGE DAVID;GARNIER PHILIPPE;CAMPIDELLI YVES
分类号 H01L21/77;H01L21/335;H01L21/8234;H01L27/12 主分类号 H01L21/77
代理机构 代理人
主权项
地址