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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING HYDROGEN-SELENIDE MIXED GAS
摘要
원료 가스 공급 유로에 설치되어 원료 가스인 셀렌화수소 가스의 유량을 제어하는 유량 제어 수단과, 교정용 유량 측정 수단에 동일 유량의 교정용 가스를 흘리고, 유량 제어 수단 및 유량 측정 수단에 의해 측정된 교정용 가스의 각각의 유량값의 차분에 따라, 유량 제어 수단이 흘리는 셀렌화수소 가스의 유량의 설정값을 보정한다.
申请公布号
KR20150044437(A)
申请公布日期
2015.04.24
申请号
KR20157006775
申请日期
2013.10.21
申请人
다이요 닛산 가부시키가이샤
发明人
야마와키 마사야
分类号
C01B19/04;C23C14/54;C23C14/58;G01F25/00;H01L31/18
主分类号
C01B19/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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