发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Transportieren zumindest eines folienartigen Bauteils
摘要 Es wird eine Vorrichtung (100) zum Transportieren zumindest eines folienartigen Bauteils (A) vorgestellt. Die Vorrichtung (100) weist einen Werkzeugkörper (110) mit einem fluiddurchlässig ausgeformten Bestückungsabschnitt (115) auf. Auch weist die Vorrichtung (100) eine elastisch verformbare Membranfolie (120, 125) auf, die den Bestückungsabschnitt (115) fluiddicht abdeckend an dem Werkzeugkörper (110) angeordnet ist. Hierbei ist ein Druck innerhalb eines Zwischenraums (130) zwischen dem Bestückungsabschnitt (115) und der Membranfolie (120, 125) durch den Bestückungsabschnitt (115) hindurch einstellbar. Dabei ist die Membranfolie (120, 125) ausgebildet, um sich bei einem ersten Druck innerhalb des Zwischenraums (130) in einem Anhaftzustand zum Anhaften des zumindest einen folienartigen Bauteils (A) mittels Van-der-Waals-Kräften an der Membranfolie (120, 125) zu befinden und um sich bei einem von dem ersten Druck unterschiedlichen, zweiten Druck innerhalb des Zwischenraums (130) in einen Ablösezustand zum Ablösen des zumindest einen folienartigen Bauteils (A) von der Membranfolie (120, 125) zu verformen.
申请公布号 DE102013220118(A1) 申请公布日期 2015.04.23
申请号 DE201310220118 申请日期 2013.10.04
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 KUGLER, ANDREAS;ZIMMERMANN, ANDRE;GARNIER, KAI VON;STIHLER, PATRICK
分类号 H01L21/67;H01L31/18 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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