| 摘要 |
<p>特に太陽電池を処理するのに適した、高い処理能力でウェハをプラズマ処理するためのシステム。ロードステーションは、ロードコンベア、ロード搬送機構、および可搬型静電チャックを収容するチャックロードステーションを有し、ロード搬送機構は、コンベアからウェハを取り除いて可搬型静電チャック上に載置するよう構成される。可搬型チャックは、少なくとも１つの処理チャンバに輸送され、ウェハのプラズマ処理を行う。アンロードステーションは、アンロードコンベア、アンロード搬送機構、および処理チャンバからの可搬型静電チャックを収容するチャックアンロードステーションを有し、アンロード搬送機構は、可搬型静電チャックからウェハを取り除き、コンベア上に載置するよう構成される。チャック返送モジュールは、可搬型静電チャックをチャックアンロードステーションからチャックロードステーションに搬送するよう構成される。</p> |
