Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Siliziumbauteilen

摘要

Die Erfindung betrifft eine technische Lösung zur Prüfung von Siliziumbauteilen auf Grundlage einer optischen Detektion von Defekten in und auf Bauteilen für opto- und halbleiterelektronische, optische und mechanische Anwendungen mittels einer Infrarot-Transmissionsinspektion, wobei der zu bewertende Prüfling im Transmissionsstrahlengang angeordnet wird. Aufgabe der Erfindung ist es, eine derartige Lösung zu schaffen, mit der insbesondere eine Erkennung und Unterscheidung von Fehlermerkmalen von sonstigen Strukturen nach dem Durchlichtprinzip ermöglicht wird. Die Aufgabe wird verfahrenstechnisch gelöst, indem der Transmissionsstrahl ausgehend von einer Lichtquelle über einen miteinander in Wirkverbindung bringbaren linearen Polarisator und einen Analysator geführt wird, wobei der Polarisator und der Analysator zueinander gekreuzt angeordnet und wobei die gekreuzten Filteroptiken und/oder oder die Halterung des Prüflings drehbar ausgeführt sind. Zur Durchführung dieser Verfahrensschritte wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei welcher der Polarisator und der Analysator vor einem Bildsensor in einem Drehsinn senkrecht zueinander angeordnet sind.