結像光学系、撮像装置、形状測定装置、構造物製造システム、及び構造物製造方法

摘要

結像光学系（２１）は、物体面（Ｐ１）の一点と物体面の一点と共役な像面（Ｐ２）の一点とを結ぶ第１軸（２５）を含み、物体面を含む面と像面を含む面の交線に対して垂直な平面内において、第１軸に対して物体面と像面とが互いに反対向きに傾いている結像光学系であって、平面内で第１軸に対して偏心した第１光学部材（５１）を備える。アオリの結像光学系において、結像性能の低下を抑制する。