一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法

摘要

本发明公开了一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法，将钼粉和钛粉装进三维混料机中，充入氩气，使两种粉末在氩气气氛中充分混合，得到钼钛合金粉末；将钼钛合金粉末放入模具中冷等静压得到预成形坯；将预成形坯抽真空后在氦气气氛下烧结，得到烧结毛坯，最后经过机加工后即得。本发明钼钛合金溅射靶材板的制备方法，采用传统粉末冶金方法，同时在烧结过程中抽真空并通入保护气氛氦气，使得制备得到的钼钛合金溅射靶材板，可以直接生产满足现需求的大尺寸溅射靶材，产品质量得到保证，且该方法成本较低，基本无废料，无污染，可以使钼钛合金溅射靶材板的成本显著降低。

主权项

一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，将钼粉和钛粉装进三维混料机中，充入氩气，使两种粉末在氩气气氛中充分混合，得到钼钛合金粉末；步骤2，将步骤1得到的钼钛合金粉末放入模具中冷等静压得到预成形坯；步骤3，将步骤2得到的预成形坯抽真空后在氦气气氛下烧结，得到烧结毛坯；步骤4，将步骤3得到的烧结毛坯经过机加工后得到钼钛合金溅射靶材板。