基于静电驱动的表面材料接触特性测试结构及其测试方法

摘要

本发明公开了一种基于静电驱动的表面材料接触特性测试结构，包括绝缘衬底，悬浮于绝缘衬底上端面的静电执行器、王字弹簧、可动接触电极和固定接触电极，以及用于读取测试刻度的刻度结构；可动接触电极和固定接触电极之间相隔测试间距，两者相面对的侧面设置有待测试的表面材料；通过施加电压产生静电驱动使静电执行器、王字弹簧和可动接触电极一起向固定接触电极靠近，使表面材料接触并产生接触力，实现接触特性测试。采用静电驱动方式，简单易行、操作方便、测量速度较快，静电激励功耗低、可降低成本，基于MEMS加工技术，结构简单、体积小巧，可对不同材料进行测量，通用性强，特别适用于RF MEMS器件表面材料接触特性的测试。

主权项

一种基于静电驱动的表面材料接触特性测试结构，其特征在于：包括绝缘衬底，位于绝缘衬底水平上端面处于同一水平中心轴线依次分布的静电执行器、王字弹簧、可动接触电极和固定接触电极；还包括设置在王字弹簧中用于读取测试刻度的刻度结构；所述可动接触电极和固定接触电极之间相隔初始状态的测试间距；所述静电执行器、王字弹簧和可动接触电极依次相连成一体、并通过支撑保持悬浮状态；所述固定接触电极通过支撑也保持悬浮状态；所述可动接触电极和固定接触电极的相面对的侧面均设置有待测试的表面材料；所述静电执行器通过施加电压产生静电驱动作用，驱使静电执行器、王字弹簧和可动接触电极一起向固定接触电极靠近，使可动接触电极和固定接触电极相面对侧面的待测试的表面材料接触并产生接触力，用于进行表面材料接触特性的测试。