一种自增强圆筒式双液体腔结构的耐高温超高压力传感器

摘要

一种自增强圆筒式双液体腔结构的耐高温超高压力传感器，包括底座，支架套筒连接在底座上，支架套筒设有下充液体孔，承压圆筒置于支架套筒内，其承压孔与底座的通孔对齐，烧结座连接在支架套筒上，烧结座的下台阶孔台开有烧结孔，下台阶孔通过液体通孔连通至上台阶孔，上台阶孔侧壁设有上充液孔，烧结柱固定在烧结孔中，顶盖连接在烧结座上，敏感元件贴合在下台阶孔的台阶面上，敏感元件上的惠斯通电桥通过烧结柱连接至外部电路，承压圆筒、底座、支架套筒、下台阶孔与敏感元件围成的腔体构成下液体腔，顶盖、上台阶孔、液体通孔与敏感元件围成的腔体构成上液体腔，下、上液体腔中充满可压缩液体，双液体腔结构形成高温补偿结构，改善测量误差。

主权项

一种自增强圆筒式双液体腔结构的耐高温超高压力传感器，包括底座(1)，其特征在于：底座(1)中心设有通孔(1‑1)，支架套筒3连接在底座(1)上，支架套筒(3)的侧壁设有下充液体孔(3‑1)，承压圆筒(2)置于支架套筒(3)的内腔，承压圆筒(2)底部连接在底座(1)上，承压圆筒(2)内部设有承压孔(2‑1)，承压孔(2‑1)与通孔(1‑1)对齐，烧结座(4)连接在支架套筒(3)上，烧结座(4)的上、下两端面均开有台阶孔，下台阶孔(4‑1)台阶面上开有四个以上的烧结孔(4‑3)，烧结孔(4‑3)连通至烧结座(4)壳体外部，下台阶孔(4‑1)通过液体通孔(4‑4)连通至上台阶孔(4‑2)，上台阶孔(4‑2)侧壁设有上充液孔(4‑5)，烧结柱(10)通过浆料(16)固定在烧结孔(4‑3)中，顶盖(5)连接在烧结座(4)上，敏感元件(8)贴合在下台阶孔(4‑1)的台阶面上并置于液体通孔(4‑4)上，敏感元件(8)为流体隔离结构，敏感元件(8)上设有惠斯通电桥，惠斯通电桥通过金丝引线(9)与烧结柱(10)内端连接，烧结柱(10)外端通过第一高温电缆线(11‑1)与高温转接板(12)连接，高温转接板(12)设置在顶盖(5)上，高温转接板(12)通过第二高温电缆线(11‑2)穿过外壳(13)上的固线帽连接至外部电路，由承压圆筒(2)外表面、底座(1)上表面、支架套筒(3)内表面、下台阶孔(4‑1)内表面与敏感元件(8)下表面所围成的腔体构成下液体腔(14)，由顶盖(7)、上台阶孔(4‑2)内表面、液体通孔(4‑4)内表面与敏感元件(8)上表面所围成的腔体构成上液体腔(15)，下液体腔(14)、上液体腔(15)中充满可压缩液体，下液体腔(14)、上液体腔(15)体积相等。