发明名称 |
一种自动除尘设备 |
摘要 |
本实用新型适用于除尘技术领域,提供了一种自动除尘设备包括:隔板设置于主框架内,隔板将主框架的内腔分为二层,分别为第一层和第二层;吹嘴、电缸、以及直线导轨均设置于隔板上;电缸和直线导轨电性连接,吹嘴位于直线导轨上方;治具设置于吹嘴上方;防护罩设置于治具上方,防护罩将治具、吹嘴、电缸、和直线导轨一并罩着;吸气罩贴附设置于隔板下方;真空泵固定于主框架内腔的第二层中,真空泵的吸气口与吸气罩吸气口连接。本实用新型使得整个机台环境得以控制,以及使得产品除尘效果大大提高,良率有效提升。 |
申请公布号 |
CN204276480U |
申请公布日期 |
2015.04.22 |
申请号 |
CN201420509539.5 |
申请日期 |
2014.09.05 |
申请人 |
深圳市森邦半导体有限公司 |
发明人 |
蒋振中 |
分类号 |
B08B15/02(2006.01)I |
主分类号 |
B08B15/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种自动除尘设备,其特征在于,所述自动除尘设备包括:主框架、治具、防护罩、隔板、吹嘴、电缸、直线导轨、吸气罩、以及真空泵;所述隔板设置于所述主框架内,所述隔板将所述主框架的内腔分为二层,分别为第一层和第二层;所述吹嘴、电缸、以及所述直线导轨均设置于所述隔板上;所述电缸和所述直线导轨电性连接,所述吹嘴位于所述直线导轨上方;所述治具设置于所述吹嘴上方;所述防护罩设置于所述治具上方,所述防护罩将所述治具、所述吹嘴、所述电缸、和所述直线导轨一并罩着;所述吸气罩贴附设置于所述隔板下方;所述真空泵固定于所述主框架内腔的第二层中,所述真空泵的吸气口与所述吸气罩吸气口连接。 |
地址 |
518000 广东省深圳市光明新区观光路11号金万利工业园厂房B栋一楼南侧 |