压电部件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种压电部件及其制造方法。压电部件由压电基板、形成于该压电基板的主表面的栉状电极、由具有邻接该栉状电极配设的元件配线部的配线电极构成的压电元件、形成于该元件配线部的上表面的绝缘层、形成于该绝缘层的上表面的再配线层、从该再配线层的上表面除该栉状电极以外，覆盖其整个面的由无机材料构成的保护膜层、将感光性树脂薄膜层压在该保护膜层上而形成的外围壁部、将添加了纳米填料或云母的感光性树脂薄膜层压在该外围壁部的开口前端部而形成的顶部、以及贯通该外围壁部和顶部而形成的电极柱构成，其中，感光性树脂薄膜由添加了平均粒径为1.0nm以下的无机材料构成的纳米填料、且弹性模量为3.0GPa以上的感光性树脂构成。

主权项

一种压电部件，其特征在于，包括：由压电基板、形成于该压电基板的主表面的栉状电极、具有邻接该栉状电极而配设的元件配线部的配线电极构成的压电元件、形成于所述元件配线部的上表面的绝缘层、形成于该绝缘层的上表面的再配线层、以及从该再配线层的上表面除所述栉状电极以外，覆盖其整个面的由无机材料构成的保护膜层；以及将感光性树脂薄膜层压在该保护膜层上而形成的外围壁部、将所述感光性树脂薄膜层压在该外围壁部的开口前端部而形成的顶部、以及贯通该外围壁部和顶部而形成的电极柱；其中，所述感光性树脂薄膜由添加了平均粒径为1.0nm以下的无机材料构成的纳米填料、并且弹性模量为3.0GPa以上的感光性树脂构成。