一种使用金刚石车床加工金属反射镜的方法

摘要

本发明公开一种使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，采用干涉仪检测被加工金属反射镜面形，得到被加工金属反射镜面形相对于设计要求面形的偏差，并用Zernike多项式描述面形偏差。在该面形偏差图上选取一条过被加工金属反射镜旋转中心的直线，然后按一定的步距等间距地在这条直线上选取一系列的偏差点，再用这些点形成金刚石车床所需的输入文件，并指导金刚石车床进行金属反射镜面形精密加工。本发明摒弃了金刚石车床加工中常规的接触式测量法提取过心面形偏差数据，通过干涉仪测量数据来指导金刚石车床加工金属反射镜的加工，对于相关的光学加工具有很好的使用价值。特别是对于质地较软、中心开孔的金属镜加工指导意义更加显著。

主权项

一种使用金刚石车床加工金属反射镜的方法，其特征在于：采用金刚石车床对被加工金属反射镜进行初加工，再通过干涉仪检测被加工金属反射镜面形，得到被加工金属反射镜面形相对于设计要求面形的偏差，并用Zernike多项式描述面形偏差，最后在面形偏差图上选取多个点来指导金刚石车床进行金属反射镜面形精密加工；该方法具体包括：步骤S1：金刚石车床先通过设置初始面形参数，来对被加工金属反射镜光学面进行初始加工；步骤S2：采用干涉仪检测被加工金属反射镜工件面形，得到被加工金属反射镜工件初始面形；步骤S3：将测量并提取出初始面形数据，计算初始面形相对于设计要求金属反射镜面形的偏差并形成面形偏差图，并用Zernike多项式描述面形偏差；步骤S4：在面形偏差图上选取一条过被加工金属反射镜旋转中心的直线，按设定的步距在这条直线上选取多个偏差点；步骤S5：将选取出来的偏差点生成指导文件，指导金刚石车床对被加工金属反射镜面形进行精密加工，得到加工后的被加工金属反射镜；步骤S6：重复步骤S1～S5，直至得到满足设计要求的金属反射镜。