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<p>사용자로부터의 입력 없이 검사 시나리오를 결정하는 방법 및 시스템을 제공한다. 검사 시나리오는 적어도 하나의 획득 모드, 결함 검출 파라미터 값 및 분류 파라미터 값을 포함한다. 일 예에서, 복수의 결함 상황을 웨이퍼 표면의 핫 검사에 의해 결정한다. 결함 상황을 분류하고, 각 결함 상황과 관련된 속성을 식별한다. 결함 상황은 이러한 정보로 라벨링된다. 식별된 속성과 분류를 기초로 하여, 검사 시나리오를 결정한다. 검사 시나리오는, 식별한 속성에 의해 형성한 수학적 공간에서의 솔루션이다. 일부 예에서, 복수의 검사 시나리오를 결정하고, 원하는 검사 시나리오는, 선택되는 검사 시나리오에 의해 포착되는 뉴슨스 상황(nuisance event)의 개수와 관심 결함의 개수를 기초로 하여 복수의 검사 시나리오로부터 선택한다.</p> |
