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<p>기판에 형성된 복수의 기준 마크의 설계 상의 제 1 위치, 제 1 위치를 기준으로 해서 정해진 기판에 묘화되는 묘화 패턴, 및 복수의 기준 마크의 각각의 실제의 제 2 위치를 각각 나타내는 좌표 데이터를 취득하고, 복수의 기준 마크마다 제 1 위치와 제 2 위치의 어긋남을 보정하기 위한 어긋남 보정량을, 상기 기준 마크의 어긋남 보정량과 상기 기준 마크에 가장 가까운 기준 마크의 어긋남 보정량을 평균화한 값으로 하고, 제 2 위치를 나타내는 좌표 데이터를 기준으로 해서 묘화 패턴을 나타내는 좌표 데이터에 의거하여 피노광 기판에 묘화 패턴을 묘화할 경우, 평균화된 어긋남 보정량에 의거하여 묘화 패턴을 나타내는 좌표 데이터를 보정한다.</p> |
