应用在离子源中的放电装置及方法

摘要

本发明提供了一种应用在离子源中的放电装置及方法，所述放电装置包括中空容器，还包括：放电针，所述放电针设置在所述容器内，包括尖端部分及后端部分；所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔，所述径向孔均匀分布；放电腔，所述放电腔呈筒形，设置在所述容器内的放电针的一侧，所述尖端部分深入到放电腔内；所述放电腔沿其轴向的截面为对称的两侧，所述截面的临着轴向的一侧为曲线；所述放电腔接地；电源，所述电源为放电针和放电腔之间引入高压。本发明具有稳定性好、灵敏度高、寿命长等优点。

主权项

一种应用在离子源中的放电装置，所述放电装置包括中空容器；其特征在于：所述放电装置还包括：放电针，所述放电针设置在所述容器内，包括尖端部分及后端部分；所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔，所述径向孔均匀分布；放电腔，所述放电腔呈筒形，设置在所述容器内的放电针的一侧，所述尖端部分深入到放电腔内；所述放电腔沿其轴向的截面为对称的两侧，所述截面的临着轴向的一侧为曲线；所述放电腔接地；电源，所述电源为放电针和放电腔之间引入高压。