发明名称 一种GaN基LED外延结构
摘要 本实用新型公开了一种GaN基LED外延结构,GaN基LED外延结构依次包括:衬底;位于衬底上的氮化物缓冲层;位于氮化物缓冲层上的N型GaN层;位于N型GaN层上的多量子阱层,多量子阱层包括若干组量子阱层,每组量子阱层依次包括In<sub>x</sub>Ga<sub>(1-x)</sub>N势阱层、AlN/GaN超晶格结构层、和GaN势垒层;位于多量子阱层上的P型GaN层。本实用新型可以提高量子阱的界面质量,同时减少内部应力,从而提高量子阱的内量子效率。
申请公布号 CN204289495U 申请公布日期 2015.04.22
申请号 CN201420846907.5 申请日期 2014.12.26
申请人 聚灿光电科技股份有限公司 发明人 冯猛;陈立人;蔡睿彦
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人 杨林洁
主权项 一种GaN基LED外延结构,其特征在于,所述GaN基LED外延结构依次包括:衬底;位于衬底上的氮化物缓冲层;位于氮化物缓冲层上的N型GaN层;位于N型GaN层上的多量子阱层,所述多量子阱层包括若干组量子阱层,每组量子阱层依次包括In<sub>x</sub>Ga<sub>(1‑x)</sub>N势阱层、AlN/GaN超晶格结构层、和GaN势垒层;位于多量子阱层上的P型GaN层。
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