探针引导件、探针板及使用它的半导体装置的试验方法

摘要

本发明的课题在于提供一种能够进行稳定的电连接且不会在突起状连接电极的突起顶点留下刮擦痕迹的探针引导件、悬臂型探针板以及半导体装置的试验方法。本发明通过提供以下这样的探针引导件、具有这样的引导件的悬臂型探针板以及使用这样的引导件的半导体装置的试验方法来解决上述课题，该探针引导件设有具有直线状侧部的引导孔，在试验时，所述引导孔引导与突起状连接电极接触的探针顶端部在沿着其刮擦方向的直线方向上移动，在所述探针引导件相对于突起状连接电极被定位在使用位置时，该引导孔在与突起状连接电极的顶点周边部相对的位置开口，所述顶点周边部偏离通过所述突起状连接电极的突起顶点的刮擦方向的中心线。

主权项

一种探针引导件，其是采用悬臂型探针板对具有突起状连接电极的半导体装置进行试验时所使用的探针引导件，其特征在于，设有具有直线状侧部的在刮擦方向上长的长孔形状的引导孔，在试验时，所述引导孔引导与突起状连接电极接触的探针顶端部在沿着其刮擦方向的直线方向上移动，在所述探针引导件相对于突起状连接电极被定位在使用位置时，该引导孔不在通过所述突起状连接电极的突起顶点的沿刮擦方向的中心线上开口，而是在与偏离所述中心线的顶点周边部相对的位置开口，被穿插于所述引导孔内的所述探针顶端部不会与所述突起顶点接触。