发明名称 多室真空炉中的料筐在线检测机构
摘要 本发明公开了一种多室真空炉中的料筐在线检测机构,解决了自动连续式真空炉中的加热室中料筐准确位置检测的技术难题。包括在真空加热室(1)中设置有真空加热室滚筒传动机构(3)和料筐(4),在真空加热炉的侧壁上设置有密封的检测转轴轴承座(5)和黄铜轴套(7),在黄铜轴套中活动设置有料筐位置检测转轴(9),料筐位置检测转轴的内侧端依次穿过真空加热室(1)的侧壁和真空加热室炉胆(2)后与T形检测杆(10)连接,T形检测杆设置在真空加热室滚筒传动机构(3)的上方,在检测转轴轴承座(5)的外侧端上连接有密封的检测筒体(14),在密封的检测筒体中设置有位置开关(17)。提高了加热管真空退火的工作效率,保证了加热管的真空退火质量。
申请公布号 CN103644746B 申请公布日期 2015.04.22
申请号 CN201310672147.0 申请日期 2013.12.12
申请人 中国电子科技集团公司第二研究所 发明人 廖正贵;杨晓东;王成君
分类号 F27D21/00(2006.01)I;F27D5/00(2006.01)I 主分类号 F27D21/00(2006.01)I
代理机构 山西科贝律师事务所 14106 代理人 陈奇
主权项 一种多室真空炉中的料筐在线检测机构,包括真空加热室(1),在真空加热室(1)中设置有真空加热室炉胆(2),在真空加热室炉胆(2)中设置有真空加热室滚筒传动机构(3),在真空加热室滚筒传动机构(3)上设置有料筐(4),其特征在于,在真空加热室(1)的侧壁上设置有密封的检测转轴轴承座(5),在检测转轴轴承座(5)上套接有冷却水套(6),在密封的检测转轴轴承座(5)内设置有黄铜轴套(7),在黄铜轴套(7)中活动设置有料筐位置检测转轴(9),料筐位置检测转轴(9)的内侧端依次穿过真空加热室(1)的侧壁和真空加热室炉胆(2)后与T形检测杆(10)连接在一起,T形检测杆(10)设置在真空加热室滚筒传动机构(3)的上方,在检测转轴轴承座(5)的外侧端上连接有密封的检测筒体(14),在密封的检测筒体(14)中设置有位置开关(17),料筐位置检测转轴(9)的外侧端设置在检测筒体(14)中,在料筐位置检测转轴(9)的外侧端上穿接有检测复位大头螺栓杆(11),检测复位大头螺栓杆(11)的下端碰杆头(16)设置在位置开关(17)的检测碰头(18)的一侧,在检测筒体(14)的内侧壁上设置有弹簧拉座(13),复位弹簧(12)的一端与弹簧拉座(13)固定连接在一起,复位弹簧(12)的另一端与检测复位大头螺栓杆(11)的上端大头连接在一起。
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