发明名称 研磨组合物用添加剂
摘要 本发明涉及一种能够实现稳定的研磨特性的研磨组合物用添加剂。研磨组合物用添加剂含有醇和1种或2种以上的胺化合物。该胺化合物含有季铵盐。特别是以高浓度含有胺化合物时,通过含有醇,能够抑制胺化合物的析出。
申请公布号 CN104531063A 申请公布日期 2015.04.22
申请号 CN201410670366.X 申请日期 2007.09.26
申请人 霓达哈斯股份有限公司 发明人 寺本匡志;东垣亮子;牧野弘
分类号 C09K3/14(2006.01)I 主分类号 C09K3/14(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈建全
主权项 一种研磨组合物用添加剂,其为添加在至少使用过1次的研磨组合物中的研磨组合物用添加剂,其特征在于,含有醇和1种或2种以上的胺化合物。
地址 日本大阪府