发明名称 | 研磨组合物用添加剂 | ||
摘要 | 本发明涉及一种能够实现稳定的研磨特性的研磨组合物用添加剂。研磨组合物用添加剂含有醇和1种或2种以上的胺化合物。该胺化合物含有季铵盐。特别是以高浓度含有胺化合物时,通过含有醇,能够抑制胺化合物的析出。 | ||
申请公布号 | CN104531063A | 申请公布日期 | 2015.04.22 |
申请号 | CN201410670366.X | 申请日期 | 2007.09.26 |
申请人 | 霓达哈斯股份有限公司 | 发明人 | 寺本匡志;东垣亮子;牧野弘 |
分类号 | C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 陈建全 |
主权项 | 一种研磨组合物用添加剂,其为添加在至少使用过1次的研磨组合物中的研磨组合物用添加剂,其特征在于,含有醇和1种或2种以上的胺化合物。 | ||
地址 | 日本大阪府 |