抑制三银玻璃放电的装置

摘要

本发明提供抑制三银玻璃放电的装置，包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元，每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元，每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容；两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的阴极，二极管整流单元的阴极接地。本发明具有的优点和积极效果是：减少三银夹层镀膜产品的放电，抑制放电效果明显，提高产品成品率，从而降低生产成本；二极管箱结构简单，制作成本低，安装方便，不需要增加任何控制系统，使用方便。

主权项

抑制三银玻璃放电的装置，其特征在于：包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元，每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元，每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容；两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极，二极管整流单元的阴极接地。