用于检测等离子处理室内的原位电弧放电事件的被动电容耦合静电(CCE)探针装置

摘要

提供了用于在基板处理过程中检测等离子处理系统的处理室内原位电弧放电事件的装置。该装置包括探针装置，其置于该处理室表面并且被配置为测量至少一个等离子体工艺参数。该探针装置包括面向等离子传感器以及测量电容器，其中该面向等离子传感器被耦合至该测量电容器的第一板(plate)。该探针装置还包括被耦合至该测量电容器的第二板的检测装置，其中该检测装置被配置为将流经该测量电容器的感应电流转换为一组数字信号，其经过处理被用于检测该原位电弧放电事件。

主权项

用于在基板处理过程中检测原位电弧放电事件的处理系统，包括：至少等离子处理室，该等离子处理室具有探针装置，其中所述探针装置置于所述处理室表面并且被配置为测量至少一个等离子体工艺参数，其中所述探针装置包括面向等离子传感器，和测量电容器，其中所述面向等离子传感器被耦合至所述测量电容器的第一板；以及检测装置，所述检测装置被耦合至所述测量电容器的第二板，其中所述检测装置被配置为将流经所述测量电容器的感应电流转换为一组数字信号，该组数字信号经过处理被用于检测所述原位电弧放电事件，其中所述检测装置包括：电流电压转换器，其中所述电流电压转换器被配置为至少将流经所述探针装置的所述感应电流转换为一组模拟电压信号，模拟数字转换器，被配置为至少将该组模拟电压信号转换为该组数字信号，以及信号处理器，其中所述信号处理器被配置为至少处理该组数字信号用于检测高频扰动，所述高频扰动标志所述原位电弧放电事件，其中所述高频扰动在正方向和负方向均有振幅偏移。