广视野表面缺陷检测装置

摘要

本实用新型提供一种广视野表面缺陷检测装置，包括一个底座和固定在底座上的立柱，还包括：用于承载并夹持晶圆的承载机构，该承载机构装配在底座上，能够沿X轴移动，并能够带动晶圆水平转动；检测机构，所述检测机构装配在立柱上，能够沿立柱上下移动；检测机构能够对承载机构上的晶圆表面进行放大成像检测，并回传检测图像；控制模块，所述控制模块连接承载机构，用于控制承载机构沿X轴移动和带动晶圆水平转动，从而使得检测机构能够对晶圆表面各处部位都能成像检测；计算机系统，用于对检测机构回传的检测图像进行处理，识别图像中晶圆表面缺陷。本实用新型适用于大口径晶圆的表面检测，检测速度快、效率高。

主权项

一种广视野表面缺陷检测装置，包括一个底座(1)和固定在底座(1)上的立柱(2)，其特征在于，还包括：用于承载并夹持晶圆的承载机构(3)，该承载机构(3)装配在底座(1)上，能够沿X轴移动，并能够带动晶圆水平转动；检测机构(4)，所述检测机构(4)装配在立柱(2)上，能够沿立柱(2)上下移动；检测机构(4)能够对承载机构(3)上的晶圆表面进行放大成像检测，并回传检测图像；控制模块(5)，所述控制模块(5)连接承载机构(3)，用于控制承载机构(3)沿X轴移动和带动晶圆水平转动，从而使得检测机构(4)能够对晶圆表面各处部位都能成像检测；计算机系统(6)，分别与检测机构(4)、控制模块(5)连接，用于对检测机构回传的检测图像进行处理，识别图像中晶圆表面缺陷；并用于输出指令使得控制模块(5)控制承载机构(3)的动作。