发明名称 SrTiO<sub>3</sub>单晶电阻开关器件的制备方法
摘要 SrTiO<sub>3</sub>单晶电阻开关器件的制备方法,涉及电阻开关器件。将未掺杂的SrTiO<sub>3</sub>单晶片清洗后放入石英玻璃管中,然后将石英玻璃管中的空气用氩气置换后密封;将获得的封装好的含有SrTiO<sub>3</sub>单晶片的石英玻璃管加热后,取出,冷却至室温,敲碎石英玻璃管即得高温退火后的SrTiO<sub>3</sub>单晶片;将高温退火后的SrTiO<sub>3</sub>单晶片镀金电极,取出后在SrTiO<sub>3</sub>单晶片的另一面滴上银胶,成为银电极,完成SrTiO<sub>3</sub>单晶电阻开关器件的制备。制备方法简单,易于操作,封装好的SrTiO<sub>3</sub>单晶片可直接在空气中加热。退火后的SrTiO<sub>3</sub>单晶片表面出现了丝状导电通电,不需要经过电铸过程就可以实现SrTiO<sub>3</sub>单晶片的开关性能。
申请公布号 CN104538549A 申请公布日期 2015.04.22
申请号 CN201410839802.1 申请日期 2014.12.30
申请人 厦门大学 发明人 廖霞霞;王惠琼;王吉政;郑金成
分类号 H01L45/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人 马应森
主权项 SrTiO<sub>3</sub>单晶电阻开关器件的制备方法,其特征在于包括如下步骤:1)将未掺杂的SrTiO<sub>3</sub>单晶片清洗后放入石英玻璃管中,然后将石英玻璃管中的空气用氩气置换后密封;2)将步骤1)中获得的封装好的含有SrTiO<sub>3</sub>单晶片的石英玻璃管加热后,取出,冷却至室温,敲碎石英玻璃管即得高温退火后的SrTiO<sub>3</sub>单晶片;3)将步骤2)中高温退火后的SrTiO<sub>3</sub>单晶片镀金电极,取出后在SrTiO<sub>3</sub>单晶片的另一面滴上银胶,成为银电极,完成SrTiO<sub>3</sub>单晶电阻开关器件的制备。
地址 361005 福建省厦门市思明南路422号