发明名称 |
一种多波长相移显微成像系统及方法 |
摘要 |
本发明公开了一种多波长相移显微成像系统及方法,包括米劳干涉装置,所述米劳干涉装置进一步包括至上而下依次设置的第一显微物镜、第二显微镜、反射镜和平面分光镜,所述准直透镜将白色光源的光扩束,送入分光平板中,所述分光平板一侧设置有米劳干涉装置,另一侧设置有成像透镜,所述成像透镜的后端设置图像接收装置,所述图像接收装置连接图像处理终端,所述图像处理终端连接压电陶瓷控制器,所述压电陶瓷控制器连接压电陶瓷,所述压电陶瓷设置在米劳干涉装置上,所述图像处理终端通过压电陶瓷控制器控制设置在米劳干涉装置上的压电陶瓷发生位移运动,实现获取多波长的干涉条纹信息,所述样品台设置在米劳干涉装置下方。采用本发明能够在紧凑的光路结构中,快速获取并分析物体的表面形貌和结构,获得物体更大范围,更高精度的结构形态。 |
申请公布号 |
CN104534979A |
申请公布日期 |
2015.04.22 |
申请号 |
CN201410757875.6 |
申请日期 |
2014.12.10 |
申请人 |
佛山市南海区欧谱曼迪科技有限责任公司 |
发明人 |
赵晖;王翰林;刘满林;刘俊;张浠;安昕 |
分类号 |
G01B9/021(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G06T7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B9/021(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市盈方知识产权事务所(普通合伙) 44303 |
代理人 |
周才淇;朱晓江 |
主权项 |
一种多波长相移显微成像方法,其特征在于,利用米劳干涉装置采集样品信息的全息干涉条纹,并通过彩色图像传感器转换为数字图像;再通过图像处理终端控制压电陶瓷发生位移,使得米劳干涉装置内部两光束的光程差发生变化,从而使光波间发生相移干涉;然后,在短时间里采集多幅干涉全息图,通过计算获取只含有物体信息的重构像。 |
地址 |
528251 广东省佛山市南海区永安北路1号金谷光电A座504 |