一种降低石墨衬底内部热应力的电子束熔炼方法及石墨衬底

摘要

本发明公开了一种降低石墨衬底内部热应力的电子束熔炼方法及石墨衬底，石墨衬底铺满水冷铜坩埚底部，所述石墨衬底由小石墨衬块拼接而成，所述小石墨块的至少2个侧壁上设有贯穿侧壁的中空的凹槽或凸槽，所述凸槽或凹槽与水平面平行，相邻的小石墨衬块之间通过凹槽和凸槽匹配连接。本发明制作的分体式石墨衬底能有效地降低电子束熔炼过程中石墨材质内部的热应力，防止石墨衬底在熔炼过程中发生破碎，提高石墨衬底的使用寿命至少2倍；分体式石墨衬底采用凹凸槽或者锯齿槽或者其它类似能达到相同效果的形式，可保证在熔炼的过程中硅熔体不发生渗漏。

主权项

一种水冷铜坩埚中的石墨衬底，其特征在于：石墨衬底铺满水冷铜坩埚底部，所述石墨衬底由小石墨衬块拼接而成，所述小石墨块的至少2个侧壁上设有贯穿侧壁的中空的凹槽或凸槽，所述凸槽或凹槽与水平面平行，相邻的小石墨衬块之间通过凹槽和凸槽匹配连接。