一种半导体切割设备粉尘逃逸量控制系统

摘要

本发明提供一种半导体切割设备粉尘逃逸量控制系统，包括：洁净度检测模块，用于检测所在环境的洁净度信息；信号处理模块，电性连接于所述洁净度检测模块，用于将所述洁净度信息转化并输出洁净度指示信号；处理系统，电性连接于所述信号处理模块，用于接收所述洁净度指示信号，根据洁净度指示信号输出调节控制指令；用于粉尘逃逸的粉尘逃逸管道、及用于为所述粉尘逃逸管道提供排风的排风装置，所述排风装置电性连接于所述处理系统，根据所述调节控制指令控制粉尘排放，实现自动化调节洁净度减少无尘车间的污染，提升良品率。

主权项

一种半导体切割设备粉尘逃逸量控制系统，其特征在于，包括：洁净度检测模块，用于检测所在环境的洁净度信息；信号处理模块，电性连接于所述洁净度检测模块，用于将所述洁净度信息转化并输出洁净度指示信号；中央处理系统，电性连接于所述信号处理模块，用于接收所述洁净度指示信号，根据洁净度指示信号输出调节控制指令；用于粉尘逃逸的粉尘逃逸管道、及用于为所述粉尘逃逸管道提供排风的排风装置，所述排风装置电性连接于所述中央处理系统，根据所述调节控制指令控制粉尘排放。