用于有机EL元件的密封膜，有机EL元件以及有机EL显示器

摘要

本发明的目的是提供一种用于有机EL元件的密封膜，该密封膜由于不存在针孔而具有极佳的耐湿性。本发明的密封膜是用于有机EL元件的密封膜，该密封膜具有至少由三层构成的层状结构，其中氮化硅膜和氧氮化硅膜交替层叠，该密封膜的特征是从有机EL元件侧数起的奇数层是膜厚度(T1)等于或大于200纳米的氮化硅膜，从有机EL元件侧数起的偶数层是膜厚度(T2)等于或大于20纳米且等于或小于50纳米的氧氮化硅膜。

主权项

一种用于有机EL元件的密封膜，所述密封膜具有至少由三层构成的层状结构，其中氮化硅膜和氧氮化硅膜交替层叠，所述密封膜的特征在于：从有机EL元件侧数起的奇数层是膜厚度T1等于或大于200纳米的氮化硅膜，从有机EL元件侧数起的偶数层是膜厚度T2等于或大于20纳米且等于或小于50纳米的氧氮化硅膜，最上层是氮化硅膜，所述密封膜通过等离子体CVD法形成，以及在形成密封膜的过程中，将有机EL元件的温度控制在70℃或更低。