聚合物光波导的制法

摘要

本发明提供了聚合物光波导的制法，该方法使用通过光引发阳离子聚合反应而固化的类型的感光性树脂，可有效地制造低光损失的聚合物光波导。该聚合物光波导由芯(2)、下包层(1)、和外包层(3)构成，该制法包括：在下包层(1)的表面涂布含有溶剂的芯形成用光引发阳离子聚合树脂组合物的工序(a)；通过加热处理使由上述芯形成用树脂组合物(2’)形成的层中的溶剂挥发的加热工序(b)；将该加热工序(b)后的芯形成用树脂组合物中的残留溶剂浓度调整至1wt％以下的控制工序(控制组件(12))，对上述加热工序(b)后的芯形成用树脂组合物的层隔着光掩模照射照射线来曝光，并显影而形成规定图案的芯(2)。

主权项

聚合物光波导的制法，其特征在于，所述制法包括：工序(a)，在基板上形成下包层；工序(b)，在所述下包层上形成传输光的芯；工序(c)，以覆盖所述芯的方式形成外包层；其中，所述工序(b)包括：工序(b‑1)，在所述下包层的表面涂布芯形成用树脂组合物成层状，所述芯形成用树脂组合物包含通过光引发阳离子聚合反应而固化的阳离子聚合性环氧树脂、光酸产生剂和溶剂；工序(b‑2)，将所述芯形成用树脂组合物加热，使所述芯形成用树脂组合物层中的所述溶剂挥发；控制工序(b‑3)，测定在所述(b‑1)中刚涂布之后的芯形成用树脂组合物层的质量并存储，且测定所述(b‑2)的加热后的芯形成用树脂组合物层的质量，将该值与在所述(b‑1)中刚涂布之后的芯形成用树脂组合物层的质量进行比较，从而求出芯形成用树脂组合物层中的溶剂浓度的变化，使用该溶剂浓度的变化来控制所述工序(b‑2)中的加热条件，将所述芯形成用树脂组合物中的残留溶剂浓度调整至1wt％以下；工序(b‑4)，隔着光掩模对所述工序(b‑2)后的芯形成用树脂组合物的层照射照射线来曝光，并显影而形成规定图案的所述芯。