图案形成方法

摘要

本发明的目的在于提供一种图案形成方法，其能够促进硅烷偶联剂的分解反应，缩短作业时间。本发明包括：在基板（1）上配置由通式（1）表示的硅烷偶联剂（2），针对硅烷偶联剂（2）使光催化剂（3）存在的工序，和对硅烷偶联剂（2）和光催化剂（3）照射包含硅烷偶联剂（2）和光催化剂（3）的吸收波长的光的光L的工序。（下述式中，R¹表示因光照射而发生脱离的光反应性保护基团，R²表示由于R¹的脱离而产生具有与R¹不同的亲疏液性的官能团的有机基团，X¹表示烷氧基或卤素原子，X²、X³表示选自氢原子、烷基、烯基、烷氧基、卤素原子中的取代基。X¹、X²、X³可以相同也可以不同。）R¹-R²-SiX¹X²X³    …(1)。

主权项

一种图案形成方法，其特征在于，是在对象物的被处理面形成所希望的图案的图案形成方法，包括：在所述被处理面配置由通式(1)表示的硅烷偶联剂，在所述被处理面上针对所述硅烷偶联剂使光催化剂存在的工序，和对所述硅烷偶联剂和所述光催化剂，照射光的工序，其中所述光包含所述硅烷偶联剂和所述光催化剂的吸收波长的光；R¹‑R²‑SiX¹X²X³…(1)式中，R¹表示因光照射而发生脱离的光反应性保护基团，R²表示由于R¹脱离而产生具有与R¹不同的亲疏液性的官能团的有机基团，X¹表示烷氧基或卤素原子，X²、X³表示选自氢原子、烷基、烯基、烷氧基、卤素原子中的取代基，X¹、X²、X³可以相同也可以不同，所述因光照射而发生脱离的光反应性保护基团选自具有2‑硝基苄基衍生物骨架的取代基、二甲氧基安息香基、2‑硝基胡椒基氧基羰基即NPOC、2‑硝基藜芦基氧基羰基即NVOC、α‑甲基‑2‑硝基胡椒基氧基羰基即MeNPOC、α‑甲基‑2‑硝基藜芦基氧基羰基即MeNVOC、2,6‑二硝基苄基氧基羰基即DNBOC、α‑甲基‑2,6‑二硝基苄基氧基羰基即MeDNBOC、1‑(2‑硝基苯基)乙基氧基羰基即NPEOC、1‑甲基‑1‑(2‑硝基苯基)乙基氧基羰基即MeNPEOC、9‑蒽基甲基氧基羰基即ANMOC、1‑芘基甲基氧基羰基即PYMOC、3′‑甲氧基苯酰氧基羰基即MBOC、3′,5′‑二甲氧基苯酰氧基羰基即DMBOC、7‑硝基二氢吲哚基氧基羰基即NIOC、5,7‑二硝基二氢吲哚基氧基羰基即DNIOC、2‑蒽醌基甲基氧基羰基即AQMOC、α,α‑二甲基‑3,5‑二甲氧基苄基氧基羰基，5‑溴‑7‑硝基二氢吲哚基氧基羰基即BNIOC、2,2‑二甲基‑1,3‑二氧芑基、2‑硝基苄基氨基甲酰基以及以下述式(3)～(6)所示的保护基：所述与R¹不同的具有亲疏液性的官能团选自氨基、羟基、羧基、磺基和磷酸基。