发明名称 DISPOSITIVO PARA GENERAR UN PLASMA QUE PRESENTA UNA EXTENSION IMPORTANTE A LO LARGO DE UN EJE POR RESONANCIA CICLOTRONICA ELECTRONICA RCE A PARTIR DE UN MEDIO GASEOSO
摘要 Dispositivo para generar un plasma que presenta una extensión importante a lo largo de un eje por resonancia ciclotrónica electrónica RCE a partir de un medio gaseoso. El dispositivo comporta al menos dos guías de onda coaxiales (4) constituidas cada una de un conductor central (1) y de un conductor exterior (2) para llevar micro-ondas a una cámara de tratamiento, caracterizado por que al menos las dos guías de inyección de ondas electromagnéticas (4) están combinadas con un circuito magnético (21 - 22) alargado en una dirección, rodeando dicho circuito magnético a las guías de onda (4) creando un campo magnético apto a realizar una condición de RCE en la proximidad de dichas guías de onda.
申请公布号 AR092517(A1) 申请公布日期 2015.04.22
申请号 AR2013P103235 申请日期 2013.09.11
申请人 H.E.F. 发明人 PHILIPPE MAURIN-PERRIER;CHRISTOPHE HEAU;BEAT SCHMIDT
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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