| 摘要 |
<p>본 발명은 구조들에 대하여 측정 센서(45, 46, 47)를 위치시키기 위해, 웨이퍼와 같은 물체(20)의 표면을 통해 상기 구조들의 위치를 알아내기 위한 영상 장치에 있어서, (i) 영상 센서(22); (ii) 상기 영상 센서(22) 상에서, 시야에 있어서 상기 물체(20)의 영상을 생성할 수 있는, 광학적 영상 수단(34); 및 (iii) 조명 빔(25, 30)을 생성하고 또한 반사로 상기 시야를 조명하기 위한 조명 수단(23, 27)을 포함하고, 상기 조명 수단(23, 27)은 그 스펙트럼 내용이 상기 물체(20)의 특성에 맞아, 상기 빔(25, 30)의 광이 상기 물체(20)로 침투할 수 있는 조명 빔(25, 30)을 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는, 영상 장치에 관한 것이다. 본 발명은 또한 웨이퍼와 같은 물체(20) 상에서 치수 측정을 수행하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.</p> |
