| 主权项 |
一种光刻机楔板斜面的加工方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤1、准备处理步骤，具体包括：1.1选取待加工楔板的一大平面作为基准面，利用三坐标测量仪测出该平面四个角落点的面形趋势,并做记录；1.2建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70％，标准大气压下在超净工作台上，工作人员带上洁净手套和口罩,对待加工楔板和玻璃垫板(9)用光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭,在擦拭过程中把楔形板放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无肉眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔板放在玻璃器皿中，防止再次污染；步骤2、粘接处理步骤，具体包括：2.1用高纯度蜡将楔板的基准面粘接在玻璃垫板上，粘接时使蜡充满整个楔板和玻璃垫板的接触面，确保楔板和玻璃垫板之间无气泡；2.2把粘接好的楔板和玻璃垫块放在楔板粘接平台(6)上进行第二次蜡粘接,使楔板处于最上方,玻璃垫板在中间,楔板粘接平台处于最下方；2.3将粘接好的楔板、玻璃垫块和楔板粘接平台一起放置在工装定位平台(5)上,并通过螺母(7)、螺柱、小压板(8)和垫块(10)压紧固定；步骤3、将工装定位平台(5)与机床固定，利用机床探头探测楔板的四个角点的面形趋势作好记录，并和步骤1.1中记录的面形趋势进行对比，调节工装定位平台(5)的位置，使二者面形趋势一致；步骤4、斜面加工步骤。 |
