发明名称 |
一种测量多面扫描转镜精度的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种测量多面扫描转镜精度的方法,包括以下步骤:以激光器照射多面扫描转镜,激光经过反射后被脉冲测量装置采集;匀速转动所述多面扫描转镜;利用脉冲测量装置采集脉冲并测量时间;分别对扫描的脉冲周期数据组、脉冲周期中高电平占用时间数据组、脉冲周期中低电平占用时间数据组进行数据分析得到多面扫描镜的精度。本发明的测量多面扫描转镜精度的方法,测量精度高、结构简单、成本低廉,测量系统算法简单,能够准确测量出扫描转镜精度,可实现多面扫描转镜非接触精度测量。 |
申请公布号 |
CN104535018A |
申请公布日期 |
2015.04.22 |
申请号 |
CN201410815105.2 |
申请日期 |
2014.12.24 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
朱万彬;鲁秀娥;张远志;刘洪志;段锁城 |
分类号 |
G01B11/26(2006.01)I;G01B11/27(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/26(2006.01)I |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 22210 |
代理人 |
张伟 |
主权项 |
一种测量多面扫描转镜精度的方法,其特征在于,包括以下步骤:以激光器照射多面扫描转镜,激光经过反射后被脉冲测量装置采集;匀速转动所述多面扫描转镜;利用脉冲测量装置采集脉冲并测量时间;当脉冲上升沿来临时,将定时器打开,紧接着的下降沿来临时,读取定时器的值;下一个上升沿来临时关闭定时器,读取定时器的值;如此循环往复采集多个脉冲中高电平占有时间和脉冲的周期得出多组数据;分别对扫描的脉冲周期数据组、脉冲周期中高电平占用时间数据组、脉冲周期中低电平占用时间数据组进行数据分析,得到多面扫描镜的精度。 |
地址 |
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 |