一种标准混合气体配气装置

摘要

本发明涉及一种标准混合气体配气装置，包括壳体、高真空抽气组件、辅助真空抽气组件、原料气气瓶及标准混合气产品气瓶；所述高真空抽气组件通过第一管道与所述辅助真空抽气组件相连接，所述第一管道的顶端处设有废气排放口；所述原料气气瓶通过第二管道与所述标准混合气产品气瓶相连通，所述第二管道部分位于所述壳体内，且与所述第一管道交叉连通。本发明增加了一路辅助真空抽气组件，与高真空抽气组件共同组成了双路真空抽气系统，解决了在单真空抽气系统中使用分子涡轮泵时，配气装置管道内的常压气体冲击分子涡轮泵旋转叶片的问题。

主权项

一种标准混合气体配气装置，其特征在于：包括壳体、高真空抽气组件、辅助真空抽气组件、原料气气瓶及标准混合气产品气瓶；所述高真空抽气组件及所述辅助真空抽气组件均安装在所述壳体内，且所述高真空抽气组件通过第一管道与所述辅助真空抽气组件相连接，所述第一管道的顶端处设有废气排放口，所述废气排放口位于所述壳体的顶部；所述原料气气瓶及标准混合气产品气瓶设置在所述壳体的外部，所述原料气气瓶通过第二管道与所述标准混合气产品气瓶相连通，所述第二管道部分位于所述壳体内，且与所述第一管道交叉连通。