吸附台

摘要

本发明提供一种使用多孔质板的吸附台，其可确实地确认是否可获得固定基板所需的吸附力。该吸附台具备：台本体(13)，其是由以多孔质板形成且载置基板的载台(11)、与支承载台的周缘部分的底座(12)构成，且形成中空空间(14)；真空排气机构(17)，其对中空空间进行减压；及压力感测器(31)，其检测中空空间的压力；在载台上载置基板的位置，形成贯通多孔质板并到达中空空间的细孔(33)，当载置有基板时会产生较大的差压且可由压力感测器进行检测。

主权项

一种吸附台，其特征在于具备：台本体，其是由以含有多个细细孔的多孔质板形成且载置基板的载台、与支承该载台的周缘部分的底座构成，且以内部形成中空空间并且该载台的背面面向该中空空间的方式构成；真空排气机构，其对该中空空间进行减压；及压力感测器，其检测该中空空间的压力；在该载台上的一部分区域且载置基板的位置，形成不同于包含于该多孔质板的细细孔而贯通多孔质板并到达中空空间的细孔，该细孔的孔径为0.5mm～1mm。