液体喷射头以及液体喷射装置

摘要

本发明提供液体喷射头以及液体喷射装置，能够防止铋向振动板扩散并且减少环境负荷。液体喷射头具备：设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板；设置在上述流路形成基板上，由含有硅的材料构成的振动板；设置在上述振动板上的氧化钛层；设置在上述氧化钛层上，含有铋的含铋层；形成在上述含铋层上，由白金构成的第一电极；设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备：流路形成基板，其设置有与喷嘴开口连通的压力发生室；振动板，其设置在上述流路形成基板上，由含有硅的材料构成；氧化钛层，其设置在上述振动板上；含铋层，其设置在上述氧化钛层上，含有铋；第1电极，其形成在上述含铋层上，由白金构成；压电体层，其设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成；第2电极，其形成在上述压电体层上，上述含铋层的厚度是10nm以下，当从上述压电体层向上述氧化钛层的方向用二次离子质量分析装置测量时，上述压电体层中的铋的最大强度大于上述含铋层中的铋的最大强度。