激光加工方法

摘要

本发明提供对应于被要求的品质提高分割力的激光加工方法。通过对加工对象物照射具有半值宽度与底宽彼此相等的脉冲波形的激光（L），从而沿着切断预定线在加工对象物内形成多个改质点，并由多个改质点形成改质区域。在此，激光光源（101）通过激光光源控制部（102）控制驱动电源（51），对应于激光（L）的PE值，在第1～第3脉冲波形之间切换脉冲波形。在低PE值的情况，将构成为峰值位于其前半侧且成为锯刃状的第1脉冲波形作为脉冲波形而设定，并且在高PE值的情况，将构成为峰值位于其后半侧且成为锯刃状的第2脉冲波形作为脉冲波形而设定。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于，是使激光聚光于加工对象物，并在所述加工对象物沿着切断预定线形成改质区域的激光加工方法，包含改质区域形成工序，其通过对所述加工对象物照射具有半值宽度与自立起到下降为止的时间宽度彼此相等的脉冲波形的所述激光，从而沿着所述切断预定线形成多个改质点，通过多个所述改质点形成所述改质区域，在所述改质区域形成工序中，在所述激光的脉冲能量为比规定值低的第1值的情况下，将构成为峰值位于其前半侧且呈锯刃状的第1脉冲波形作为所述脉冲波形而设定，并且在所述脉冲能量为比所述规定值高的第2值的情况下，将构成为峰值位于其后半侧且呈锯刃状的第2脉冲波形作为所述脉冲波形而设定，在所述脉冲能量为所述规定值的情况下，将构成为呈矩形状的第3脉冲波形作为所述脉冲波形而设定。