一种可见光响应的二氧化钛/硫化银复合薄膜制备的方法

摘要

本发明公开了本发明属于半导体技术领域的一种可见光响应的二氧化钛/硫化银复合薄膜制备的方法。该方法采用电子束蒸发沉积的办法在基底上沉积钛纳米棒薄膜，将这种薄膜在空气下经过特定温度、时间的退火处理，可以得到二氧化钛纳米棒薄膜，再通过“连续离子层吸附反应法”得到二氧化钛/硫化银复合薄膜。复合薄膜有较好的一维分立纳米棒形态，硫化银的量可以通过反应循环数较好地控制，其可见光响应特性及光催化性能也呈现出规律性变化，该制备方法操作简单，快速，成本低，可控性强，在可见光条件下催化分解水制备氢气和降解有机污染物等能源、环境领域都有着良好的应用前景。

主权项

一种可见光响应的二氧化钛/硫化银复合薄膜制备的方法，其特征在于,包括以下步骤：(1)用电子束蒸发沉积法在基片上沉积钛纳米棒薄膜；(2)将制备好的钛纳米棒薄膜在空气中进行退火处理得到二氧化钛薄膜；(3)通过连续离子层吸附反应法将硫化银纳米颗粒沉积到二氧化钛薄膜上得到复合薄膜。