一种具有电镀电极的硅异质结太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明实施例公开了一种具有电镀电极的硅异质结太阳能电池及其制作方法。该方法包括：在电池基片需要制作栅极的表面形成金属种子层；在金属种子层的表面采用丝网印刷油墨工艺形成油墨栅线凹槽图案；经过预定时间间隔，固化油墨栅线凹槽图案；以油墨栅线凹槽图案为掩膜采用电镀工艺沉积复合金属层；去除油墨栅线凹槽图案，及金属种子层未与复合金属层接触的部分。丝网印刷油墨工艺形成油墨栅线凹槽图案实现方式简单可控，并且，油墨也容易被去除，制作工艺简单。在固化的过程中，油墨会发生均匀地扩张变形，使得到的油墨栅线凹槽图案的开口宽度小，使形成的金属栅线的高宽比大，遮光面积小，提高了具有电镀电极的硅异质结太阳能电池的效率。

主权项

一种具有电镀电极的硅异质结太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：在电池基片需要制作栅极的表面形成金属种子层；在所述金属种子层的表面采用丝网印刷油墨工艺形成油墨栅线凹槽图案；经过预定时间间隔，固化所述油墨栅线凹槽图案；以所述油墨栅线凹槽图案为掩膜采用电镀工艺沉积复合金属层；去除所述油墨栅线凹槽图案，及所述金属种子层未与所述复合金属层接触的部分。