一种指向性MEMS麦克风

摘要

本实用新型提出一种指向性MEMS麦克风，包括：基板；均设置在基板上并且彼此电连接的MEMS芯片和ASIC芯片；外壳，外壳与基板相连围成封装腔体，MEMS芯片和ASIC芯片设置在封装腔体内部；第一声孔，设置于基板上，位于MEMS芯片下方；第二声孔，设置在封装腔体的基板上或外壳上；以及阻尼片，阻尼片从封装腔体内部覆盖第二声孔。本实用新型的MEMS麦克风设有两个声孔，在第二声孔处设有阻尼片以减小第二声孔处的声压并声相移来自第一声孔的目标声源，MEMS芯片在两路声波的共同作用下产生电信号输出，实现了良好的指向性。

主权项

一种指向性MEMS麦克风,其特征在于，包括：基板；均设置在所述基板上并且彼此电连接的MEMS芯片和ASIC芯片；外壳，所述外壳与所述基板相连围成封装腔体，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片设置在所述封装腔体内部；第一声孔，设置于所述基板上，位于所述MEMS芯片下方；第二声孔，设置在所述封装腔体的所述基板上或所述外壳上；以及阻尼片，所述阻尼片从所述封装腔体内部覆盖所述第二声孔。