一种新型圆柱直流磁控溅射靶

摘要

一种新型圆柱直流磁控溅射靶，包括靶帽、靶体、靶座、靶座法兰、传动装置、绝缘装置、减速电机；其中靶帽设置在靶体顶端，该靶体另一端与靶座连接；所述靶座内部设有传动装置，靶座外圆周面上设有靶座法兰；所述靶座与靶座法兰之间设有绝缘装置，其中靶座法兰通过立柱与电机安装架连接，该电机安装架上设有减速电机。本实用新型通过在靶座与靶座法兰之间设置绝缘装置，可有效免因靶座在经历镀膜过程中长时间的加热而后冷却的循环后发生局部变形，进而避免靶座与靶材发生短路；同时通过使用减速电机降低靶材两端溅射速率，使磁场强度更均匀，不易在靶材上出现刻蚀的环形沟道，提高靶材利用率，也使溅射形成的膜层更为均匀。

主权项

一种新型圆柱直流磁控溅射靶，包括靶帽、靶体、靶座、靶座法兰、传动装置、绝缘装置、减速电机；其中靶帽设置在靶体顶端，该靶体另一端与靶座连接；其特征是，所述靶座内部设有传动装置，靶座外圆周面上设有靶座法兰；所述靶座与靶座法兰之间设有绝缘装置，其中靶座法兰通过立柱与电机安装架连接，该电机安装架上设有减速电机。