热电堆红外探测器及其制作方法

摘要

本发明提供一种热电堆红外探测器及其制作方法，该热电堆红外探测器包括：衬底，所述衬底内具有空腔；介质支撑膜，位于所述空腔上方并由所述衬底支撑；热电堆，位于所述空腔上方的介质支撑膜上；超材料结构，位于所述热电堆上方，所述超材料结构包括：金属平面反射镜；中间介质层，位于所述金属平面反射镜上；金属微结构层，位于所述中间介质层上，其中，所述金属微结构层包括一种或多种结构周期单元，所述结构周期单元包括一种或多种在红外光谱范围内具有光吸收增强效应的几何图形单元。本发明能够实现红外波段宽光谱范围的完美吸收，进而提高热电堆探测器的红外吸收率和响应率，并且其制作方法也能与常规CMOS工艺兼容。

主权项

一种热电堆红外探测器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底内具有空腔；介质支撑膜，位于所述空腔上方并由所述衬底支撑；热电堆，位于所述空腔上方的介质支撑膜上；超材料结构，位于所述热电堆上方，所述超材料结构包括：金属平面反射镜；中间介质层，位于所述金属平面反射镜上；金属微结构层，位于所述中间介质层上，其中，所述金属微结构层包括一种或多种结构周期单元，所述结构周期单元包括一种或多种在红外光谱范围内具有光吸收增强效应的几何图形单元。