离子注入装置

摘要

离子注入装置具备真空腔(11)、在外周部的一部分缠绕膜(2)的电极辊(13)、对电极辊施加电压的电压施加单元(21)、以及向真空腔内导入气体的气体导入单元(31)，通过电压施加单元对电极辊施加电压，并且通过气体导入单元导入气体而形成等离子体，在膜的表面进行离子注入处理，其中，与电极辊的缠绕膜的面相向地设置有电极部件(42)。

主权项

一种离子注入装置，具备：真空腔；在外周部的一部分缠绕膜的电极辊；对该电极辊施加电压的电压施加单元；以及向所述真空腔内导入气体的气体导入单元，通过所述电压施加单元对所述电极辊施加电压，并且通过所述气体导入单元导入气体而形成等离子体，在所述膜的表面进行离子注入处理，其特征在于：与所述电极辊的缠绕所述膜的面相向地设置了电极部件。