一种压阻敏感和电容敏感相结合的雨量传感器结构

摘要

本发明公开了一种压阻敏感和电容敏感相结合的雨量传感器结构，包括中空结构的衬底，衬底中部设置有电容下极板，下极板左右两端分别通过弹性梁与衬底连接；两个结构层的根部通过绝缘层固定在衬底上形成弹性悬臂梁，结构层的自由端悬于相应侧的弹性梁和电容下极板上方；在结构层的上表面，根部位置区域设置有压阻，自由端的末端设置有电容上电极；在下极板上表面中心设置有凸杆结构，凸杆结构穿过两个结构层之间的间隙，并高出两个结构层；结构层和凸杆结构通过弹性胶与上方的保护层粘接；电容上电极和电容下电极构成电容敏感机构，压阻构成压阻敏感结构。这种器件结构具有体积小、功耗低、受环境因素影响小和低雨量灵敏度高等特点。

主权项

一种压阻敏感和电容敏感相结合的雨量传感器结构，其特征在于：包括左右对称的雨量传感单元，所述雨量传感单元包括中空结构的衬底(1)，在衬底(1)的中部设置有电容下极板(6)，下极板(6)的左右两端分别通过弹性梁(7)与衬底(1)内沿的左右两侧连接；在衬底(1)的上方设置有绝缘层(2)，两个结构层(3)的根部通过绝缘层(2)固定在衬底(1)上形成弹性悬臂梁，结构层(3)的自由端悬于相应侧的弹性梁(7)和电容下极板(6)上方，两个结构层(3)之间存在间隙；在结构层(3)的上表面，根部位置区域设置有压阻(8)，自由端的末端设置有电容上电极(9)；在下极板(6)上表面中心设置有凸杆结构(10)，凸杆结构(10)穿过两个结构层(3)之间的间隙，并高出两个结构层(3)，凸杆结构(10)的上端为大端头；结构层(3)和凸杆结构(10)通过弹性胶(4)与上方的保护层(5)粘接，弹性胶(4)仅粘接结构层(3)的上表面和凸杆结构(10)的大端头；电容上电极(9)和电容下电极(6)构成电容敏感机构，压阻(8)构成压阻敏感结构。